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特色工藝
碳化硅器件(Silicon Carbide)
碳化硅材料具有高導(dǎo)熱的材料特性,可在高溫環(huán)境下正常運(yùn)作。碳化硅功率器件具有耐高壓、高頻操作的優(yōu)勢(shì)。碳化硅器件可改善系統(tǒng)效率、可靠性,提升系統(tǒng)功率密度,小型化電力電子系統(tǒng)。在高可靠性要求的工業(yè)應(yīng)用、高效電力系統(tǒng)、伺服電源及電力汽車等領(lǐng)域,碳化硅材料比其他新興材料更具明顯優(yōu)勢(shì)并被廣泛應(yīng)用。


PE
Inverter


Motor Contorl


Smart Power Grid


Ship &
Vessels


Windmills


UPS


xEV
碳化硅器件特點(diǎn)
碳化硅肖特基二極管具有高耐壓、高導(dǎo)熱材料特性,具有優(yōu)異的反向恢復(fù)能力,可改善功率損失,提升系統(tǒng)的效率。
碳化硅MOSFET具有高速開關(guān)、低導(dǎo)通電阻等特性,在電力電子高頻應(yīng)用中,可以減少導(dǎo)通切換的功率損失,提升整體系統(tǒng)效率
SiC 平臺(tái)工藝能力
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高溫離子注入
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金屬沉積
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高溫退火
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激光退火
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深溝槽SiC刻蝕
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SiC柵氧
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SiC晶圓減薄
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自對(duì)準(zhǔn)短溝道工藝
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高溝道遷移率工藝
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零缺陷篩選工藝
Roadmap
