5月12日消息，據(jù)招標(biāo)平臺(tái)信息顯示，5月10日，上海積塔半導(dǎo)體多項(xiàng)設(shè)備中標(biāo)結(jié)果公布。

結(jié)果顯示，北方華創(chuàng)、拓荊科技、芯源微、阿斯麥（ASML）等成功中標(biāo)上海積塔特色工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目33臺(tái)設(shè)備。

其中，北方華創(chuàng)中標(biāo)10臺(tái)設(shè)備，包括合金化工藝低壓立式爐管、緩沖層氧化膜爐管、鋁刻蝕機(jī)、鋁金屬物理氣相沉積機(jī)、鋁銅金屬濺射設(shè)備等；拓荊科技中標(biāo)3臺(tái)二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備、8臺(tái)二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備；芯源微中標(biāo)1臺(tái)聚合物涂膠顯影機(jī)；阿斯麥（ASML）中標(biāo)2臺(tái)i-line光刻機(jī)、1臺(tái)KrF光刻機(jī)。

以此計(jì)算，北方華創(chuàng)、拓荊科技、芯源微三家合計(jì)中標(biāo)量占比約67%，國(guó)產(chǎn)設(shè)備比重較大。

那么，從今年1-4月國(guó)內(nèi)主要晶圓廠對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備采購(gòu)的中標(biāo)情況來(lái)看，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的占比又有多高呢？

國(guó)內(nèi)十大晶圓廠今年1-4月設(shè)備采購(gòu)累計(jì)開(kāi)標(biāo)401臺(tái)

由于半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用的工藝流程和重要性的不同，我們主要統(tǒng)計(jì)光刻、刻蝕、沉積、清洗等涉及核心工藝的關(guān)鍵設(shè)備中標(biāo)情況，并將關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備區(qū)分為制程核心設(shè)備（包含光刻、刻蝕、沉積、離子注入設(shè)備）、良率提升設(shè)備（包括前道檢測(cè)設(shè)備、后道測(cè)試設(shè)備、清洗設(shè)備）以及重要輔助設(shè)備（包括爐管設(shè)備、CMP 拋光設(shè)備、干法去膠設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備），并排除二手翻新設(shè)備影響。

通過(guò)對(duì)長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華力集成、華力微電子、福建晉華、華虹無(wú)錫、合肥晶合、上海積塔、中車時(shí)代、中芯紹興、武漢新芯 10 家中國(guó)大陸主要的 IDM 或晶圓代工企業(yè)為統(tǒng)計(jì)樣本，通過(guò)中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)對(duì)上述晶圓廠中標(biāo)情況進(jìn)行梳理。2022 年 4 月國(guó)內(nèi) 10 家主流晶圓廠共開(kāi)標(biāo) 108臺(tái)工藝設(shè)備，前四個(gè)月合計(jì)開(kāi)標(biāo) 401 臺(tái)工藝設(shè)備。

2022 年 4 月開(kāi)標(biāo)的 108 臺(tái)設(shè)備主要來(lái)自上海積塔（78 臺(tái)）、華虹無(wú)錫（20 臺(tái)）、福建晉華（5 臺(tái)）、時(shí)代電氣（3 臺(tái)）、華力微電子（1 臺(tái)）、華力集成（1 臺(tái)），上海積塔及華虹無(wú)錫擴(kuò)產(chǎn)貢獻(xiàn)主要增量。

2022 年 1- 4 月開(kāi)標(biāo)的 401 臺(tái)設(shè)備主要來(lái)自華虹無(wú)錫（268 臺(tái)）、上海積塔（104 臺(tái)）、時(shí)代電氣（14 臺(tái)）、福建晉華（12 臺(tái)）、華力集成（2 臺(tái)）、華力微電子（1 臺(tái)），華虹無(wú)錫及上海積塔貢獻(xiàn)主要增量。

1-4月采購(gòu)設(shè)備以爐管、刻蝕、沉積設(shè)備為主

晶圓廠設(shè)備布局往往以光刻機(jī)為核心，圍繞以多臺(tái)刻蝕、薄膜沉積、清洗等設(shè)備，由于不同招標(biāo)批次對(duì)應(yīng)設(shè)備采購(gòu)種類不同，因此不同時(shí)期工藝設(shè)備招標(biāo)種類也會(huì)有所不同。

2022 年 4 月開(kāi)標(biāo)的 108 臺(tái)設(shè)備中，按照不同工藝設(shè)備開(kāi)標(biāo)數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設(shè)備（30 臺(tái)）、刻蝕設(shè)備（29 臺(tái)）、前道檢測(cè)設(shè)備（10 臺(tái)）、清洗設(shè)備（10 臺(tái)）、干法去膠設(shè)備（9 臺(tái)）、沉積設(shè)備（8 臺(tái)）、離子注入機(jī)（4 臺(tái)）、涂膠顯影設(shè)備（4臺(tái)）、后道測(cè)試設(shè)備（2 臺(tái)）、光刻機(jī)（1 臺(tái)）、拋光設(shè)備（1 臺(tái)）。爐管、刻蝕設(shè)備貢獻(xiàn) 2022 年 4 月主要擴(kuò)產(chǎn)增量。

2022 年 1-4 月開(kāi)標(biāo)的 401 臺(tái)設(shè)備中，按照不同工藝設(shè)備開(kāi)標(biāo)數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設(shè)備（112臺(tái)）、刻蝕設(shè)備（61 臺(tái)）、沉積設(shè)備（61 臺(tái)）、前道檢測(cè)設(shè)備（48 臺(tái)）、后道測(cè)試設(shè)備（35 臺(tái)）、離子注入機(jī)（18 臺(tái)）、清洗設(shè)備（17 臺(tái)）、拋光設(shè)備（15 臺(tái)）、涂膠顯影設(shè)備（14 臺(tái)）、干法去膠設(shè)備（14 臺(tái)）、光刻機(jī)（6 臺(tái)）。總的來(lái)看，爐管、刻蝕、沉積設(shè)備貢獻(xiàn) 2022 年 1-4 月主要擴(kuò)產(chǎn)增量。

1-4月設(shè)備采購(gòu)中標(biāo)國(guó)產(chǎn)率24.2%

我們以設(shè)備中標(biāo)臺(tái)數(shù)計(jì)算國(guó)產(chǎn)率（包含擁有翻新業(yè)務(wù)的廠家），由于不同設(shè)備價(jià)值量不同，因此與實(shí)際市場(chǎng)規(guī)模測(cè)算的國(guó)產(chǎn)率有一定差異。且考慮不同晶圓廠、不同工藝設(shè)備的招標(biāo)批次不同，中國(guó)大陸廠家中標(biāo)頻次分布未必平均，造成國(guó)產(chǎn)率有一定波動(dòng)。

從年度數(shù)據(jù)來(lái)看，2021年設(shè)備國(guó)產(chǎn)率達(dá) 27.4%，較 2020 年 16.8%有明顯提升。2022 年 4 月主流晶圓廠開(kāi)標(biāo)的 108 臺(tái)設(shè)備中，源自中國(guó)大陸廠家制造的設(shè)備共計(jì) 67 臺(tái)，占比達(dá) 62%；2022 年 1-4 月開(kāi)標(biāo)的 401 臺(tái)設(shè)備中，源自中國(guó)大陸廠家制造的設(shè)備共計(jì) 97 臺(tái)，占比達(dá) 24.2%。雖然較2021年有所降低，但這可能是由于國(guó)內(nèi)廠商采購(gòu)節(jié)奏有關(guān)，預(yù)計(jì)全年的設(shè)備國(guó)產(chǎn)率仍將有望超過(guò)2021年。

上海積塔1-4 月設(shè)備采購(gòu)中標(biāo)國(guó)產(chǎn)率達(dá)42.3%

2022 年 1-4 月開(kāi)標(biāo)的 401 臺(tái)設(shè)備主要來(lái)自華虹無(wú)錫（268 臺(tái)）、上海積塔（104 臺(tái)）、時(shí)代電氣（14 臺(tái)）、福建晉華（12 臺(tái)）、華力集成（2 臺(tái)）、華力微電子（1 臺(tái)）。國(guó)產(chǎn)設(shè)備中標(biāo)數(shù)較多的晶圓廠為上海積塔（44 臺(tái)）、華虹無(wú)錫（40 臺(tái)）、時(shí)代電氣（8 臺(tái)）、福建晉華（5 臺(tái)）。其中上海積塔國(guó)產(chǎn)率達(dá)42.3%%，華虹無(wú)錫開(kāi)標(biāo)設(shè)備中國(guó)外設(shè)備占比相對(duì)較高，國(guó)產(chǎn)率約為 14.9%。

回顧2020及2021年度各晶圓廠設(shè)備采購(gòu)中標(biāo)國(guó)產(chǎn)率，上海積塔的設(shè)備采購(gòu)國(guó)產(chǎn)化率也是位居第一，分別達(dá)到了75.9%和35.4%。如果將上海積塔2020年、2021年、2022年1-4月及截至目前的5月（67%）的設(shè)備采購(gòu)國(guó)產(chǎn)化率占比平均來(lái)看，其設(shè)備采購(gòu)國(guó)產(chǎn)化率仍高達(dá)55%以上。

1-4月干法去膠、刻蝕、清洗、離子注入設(shè)備采購(gòu)中標(biāo)國(guó)產(chǎn)率較高

近年來(lái)受益于北方華創(chuàng)、中微公司、盛美半導(dǎo)體、芯源微、屹唐半導(dǎo)體、至純科技、華海清科等中國(guó)大陸廠家的不斷發(fā)展，在刻蝕、沉積、清洗、拋光、干法去膠、爐管、涂膠顯影等領(lǐng)域半導(dǎo)體設(shè)備中標(biāo)國(guó)產(chǎn)率較高。

2022年1-4月，按照國(guó)產(chǎn)設(shè)備中標(biāo)數(shù)量從高到低排序，不同工藝設(shè)備國(guó)內(nèi)廠家中標(biāo)情況如下：刻蝕設(shè)備（31 臺(tái)）、爐管設(shè)備（22 臺(tái)）、干法去膠設(shè)備（10 臺(tái)）、清洗設(shè)備（7 臺(tái)）、離子注入機(jī)（7 臺(tái)）、沉積設(shè)備（6 臺(tái)）、后道測(cè)試設(shè)備（4 臺(tái)）、前道檢測(cè)設(shè)備（3 臺(tái)）、涂膠顯影設(shè)備（3 臺(tái)）。

其中國(guó)產(chǎn)率較高的環(huán)節(jié)主要為干法去膠設(shè)備（國(guó)產(chǎn)率 71%）、刻蝕設(shè)備（50.8%）、清洗設(shè)備（41.2%）、離子注入機(jī)（38.9%）、拋光設(shè)備（26.7%）、涂膠顯影設(shè)備（21.4%）。

回顧2020及2021年度各類設(shè)備采購(gòu)中標(biāo)國(guó)產(chǎn)率情況，干法去膠（47.4%和45.0%）、CMP拋光（36.4%和41.7%）、清洗（32.0%和34.7%）、刻蝕（32.5%和24.4%）、爐管設(shè)備（22.7%和23.9%）的國(guó)產(chǎn)率相對(duì)較高。

北方華創(chuàng)等國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商受益

按設(shè)國(guó)產(chǎn)備廠商中標(biāo)情況來(lái)看，2022 年 4 月份中標(biāo)較多的中國(guó)大陸廠家為北方華創(chuàng)、中微公司、芯源微、屹唐、上海精測(cè)、盛美上海等（暫時(shí)不分析含有翻新業(yè)務(wù)的中國(guó)大陸廠家）。

北方華創(chuàng)合計(jì)中標(biāo) 33 臺(tái)：中標(biāo)上海積塔 33 臺(tái)設(shè)備，其中爐管設(shè)備 21臺(tái)，刻蝕設(shè)備 12 臺(tái)。

中微公司合計(jì)中標(biāo) 13 臺(tái)：中標(biāo)華虹無(wú)錫 12 臺(tái)刻蝕設(shè)備，中標(biāo)時(shí)代電氣1 臺(tái)刻蝕設(shè)備。

屹唐半導(dǎo)體合計(jì)中標(biāo) 10 臺(tái)：中標(biāo)華虹無(wú)錫 8 臺(tái)設(shè)備，其中 7 臺(tái)干法去膠機(jī)，1 臺(tái)熱退火設(shè)備，中標(biāo)上海積塔 2 臺(tái)灰化機(jī)。

芯源微合計(jì)中標(biāo) 7 臺(tái)：中標(biāo)上海積塔 6 臺(tái)設(shè)備，其中刷片機(jī) 5 臺(tái)，涂膠顯影機(jī) 1 臺(tái)，中標(biāo)福建晉華 1 臺(tái)涂膠顯影機(jī)。

上海精測(cè)合計(jì)中標(biāo) 1 臺(tái)：中標(biāo)福建晉華 1 臺(tái)電子顯微鏡。

盛美上海合計(jì)中標(biāo) 1 臺(tái)：中標(biāo)福建晉華 1 臺(tái)濕法清洗設(shè)備。

另外，根據(jù)中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)數(shù)據(jù)，今年1-3月國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商中標(biāo)結(jié)果顯示：北方華創(chuàng)13臺(tái)，包括薄膜/干法刻蝕/爐管；盛美上海9臺(tái)，包括濕薄膜/濕法/后道封裝；拓荊科技3臺(tái)，均為薄膜設(shè)備；華海清科3臺(tái)，均為CMP設(shè)備；芯源微2臺(tái)，均為涂膠顯影設(shè)備；上海微電子2臺(tái)，為爐管設(shè)備；至純1臺(tái)，為濕法清洗設(shè)備；中科信1臺(tái)，為離子注入設(shè)備；吉姆西（二手設(shè)備廠商）3臺(tái)，為CMP及檢測(cè)/量測(cè)設(shè)備。

來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)、德邦研究所、民生證券 芯智訊